Ηλεκτρονική Διάθεση Μαθήματος
Περιεχόμενο Μαθήματος
Ενότητα 1 (ώρες: 2): Εισαγωγή στις επιφάνειες και τις νανοδομές. Οι σημαντικές διαφορές από τα υλικά όγκου.
Ενότητα 2 (ώρες 4): Εισαγωγή στην θερμοδυναμική & τις ηλεκτρονικές ιδιότητες των επιφανειών: ενεργειακό κόστος για τη δημιουργία νέων επιφανειών, επιφανειακή τάση & ενέργεια, αναδόμηση επιφανειών, συνάρτηση έργου, ηλεκτρονική συγγένεια, επιφανειακές καταστάσεις.
Ενότητα 3 (ώρες: 3): Συνθήκες κενού για την ανάπτυξη & τον χαρακτηρισμό νανοδομών και καθαρών επιφανειών. Χαρακτηριστικά του υπερ-υψηλού κενού, στοιχεία κινητικής θεωρίας, η αγωγιμότητα στα συστήματα κενού, είδη αντλιών & μετρητών κενού, επιλογή υλικών.
Ενότητα 4 (ώρες 4): Φυσική & χημική προσρόφηση & τα αρχικά στάδια της ανάπτυξης λεπτών υμενίων και νανοδομών.
Ενότητα 5 (ώρες: 6): Επιταξιακές μέθοδοι ανάπτυξης λεπτών υμενίων & νανοδομών (επιταξία μοριακής δέσμης, χημική εναπόθεση ατμών και οι τροποποιήσεις τους)
Ενότητα 6 (ώρες 10) : Τεχνικές για τον χαρακτηρισμό επιφανειών & νανοδομών : χημική σύσταση (AES, XPS, SIMS, micro-XRF), δομή της επιφάνειας και έλεγχος της ανάπτυξης μονοστρωματικών υμενίων (LEED, RHEED), ακτινοβολία σύχροτρον και η μη-καταστροφική ταυτοποίηση της νανοδομής ( EXAFS & SEXAFS), ηλεκτρονική δομή (NEXAFS,
UPS, ARUPS).
Ενότητα 7 (ώρες 6): Φωτολιθογραφία και οι τρέχουσες εξελίξεις της για την κατασκευή νανοδομών με την τεχνολογία top-down. Στοιχεία κατασκευής νανοδομών με τεχνολογίες bottom-up
Ενότητα 8 (ώρες: 4): Εισαγωγή στην διάχυση & την οξείδωση επιφανειών.
Ασκήσεις, προβλήματα και κριτική ανάγνωση παραδειγμάτων από τη διεθνλγ βιβλιογραφία.
Λέξεις Κλειδιά
επιφάνειες, λεπτά υμένια, νανοδομή, πυρηνοποίηση, μέθοδοι ανάπτυξης, χαρακτηρισμός Υλικών, , υπερ-υψηλό κενό, λιθογραφία
Επιπρόσθετη βιβλιογραφία για μελέτη
1. Σημειώσεις του μαθήματος που διατίθενται ηλεκτρονικά (http://users.auth.gr/~paloura)
2. Διαφάνειες του μαθήματος που διατίθενται (http://users.auth.gr/~paloura)
3. “Introduction to surface and thin film processes” John A. Venables, Cambridge University Press
4. “Materials Science and Thin Films” Milton Ohring, Academic Press
5. “Physics at Surfaces” Andrew Zangwill, Cambridge University Press
6. “Solid Surfaces, Interfaces and Thin Films”, H. Lüth, Springer